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湿法刻蚀和干法刻蚀的区别?
1、湿法刻蚀有什么缺点?
湿法刻蚀有什么缺点?
2、什么是湿法刻蚀?
什么是湿法刻蚀?
3、高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。
高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。A正确B错误
4、在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是()、()和()。
在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是()、()和()。
5、根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
6、不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是()。
不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是()。AA.CHF3BB.C2F6CC.C3F8DD.HF
合议庭经评议后,根据已经查明的事实、证据和有关的法律规定.....
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