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为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。


为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。

  • A液氮冷阱
  • B净化阱
  • C抽气阱
  • D无气泵
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分类:集成电路制造工艺员(三级)题库,集成电路制造工艺员题库
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