光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

1、在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。

在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。ADQNBCACARCDPMMA

2、步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。

步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。A正确B错误

3、在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。ACA光刻胶对深紫外光吸收小BCA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化CCA光刻胶在显影液中的可溶性强D有较高的光敏度E有较高的对比度

4、例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

5、光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率

光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率的因素是什么？最常用的曝光光源是什么？

6、在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。A化学增强B化学减弱C厚度增加D厚度减少