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离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些?


离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些?

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分类:集成电路技术综合练习题库
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1、线材控制冷却需要控制的工艺参数有哪些?

线材控制冷却需要控制的工艺参数有哪些?

2、()是生产中需要保持不变的工艺指标,也就是生产中需要控制的工艺参数

()是生产中需要保持不变的工艺指标,也就是生产中需要控制的工艺参数AA、被调参数BB、给定值CC、测量值DD、偏差

3、高频淬火设备及工艺装备有:热加工设备、淬火装置、()、浮动装置和工艺参数。

高频淬火设备及工艺装备有:热加工设备、淬火装置、()、浮动装置和工艺参数。A调压器B变压器C感应器D互感器

4、工艺参数需要实现控制的设备、机器或生产过程是()。

工艺参数需要实现控制的设备、机器或生产过程是()。AA、被控对象BB、被控变量CC、操纵变量DD、干扰

5、把能够表示设备运转情况并需要进行调节的工艺参数称为()。

把能够表示设备运转情况并需要进行调节的工艺参数称为()。AA、被调参数BB、比例调节机构CC、微分调节机构DD、被调对象

6、在自动控制系统中,需要控制其工艺参数的生产过程、生产设备或机器等,称为()。

在自动控制系统中,需要控制其工艺参数的生产过程、生产设备或机器等,称为()。AA、被控对象BB、被控变量CC、操纵变量DD、干扰量