（）被广泛使用在机械密封端面检测上。
- A光学平晶
- B激光干涉仪
- C凹透镜
- D凸透镜
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机械密封端面平直度要求在0.0009毫米以内，须用（）法检测。AA、样板比较法BB、漏光CC、光干涉DD、研磨痕迹
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密封端面平面度的检测，通常是利用光波的（）来测量。A反射效应B折射效应C衍射效应D干涉效应
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在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。A正确B错误
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金属波纹管密封的波纹管弹性力与密封介质压力一起在密封端面上产生（），使其起到密封作用。A端面比压B弹性力C轴向力D弹簧比压
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机械密封又称端面密封，广泛应用于反应釜、泵、压缩机等设备上。A正确B错误
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6、端面对孔轴线的垂直度误差检测时用指示表测量被测端面上各点，指示表的最大与最小
端面对孔轴线的垂直度误差检测时用指示表测量被测端面上各点，指示表的最大与最小读数之（）即为该端面的垂直度误差。A和B积C商D差