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多晶硅表面的结晶面是多重的,因此不能像单晶硅基片那样,使用()的不同方向腐蚀


多晶硅表面的结晶面是多重的,因此不能像单晶硅基片那样,使用()的不同方向腐蚀的化学蚀刻方法。

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