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什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?
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1、什么是正压电效应?什么是逆压电效应?什么是纵向压电效应?什么是横向压电效应?
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2、什么是离子注入损伤?
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3、离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。A正确B错误
4、离子注入的沟道效应
离子注入的沟道效应
5、什么是电阻应变片的横向效应?
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6、什么是离子注入中常发生的沟道效应(Channeling)和临界角?怎样避免沟
什么是离子注入中常发生的沟道效应(Channeling)和临界角?怎样避免沟道效应?
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