例举双大马士革金属化过程的10个步骤。

1、随着铜布线中大马士革工艺的引入，金属化工艺变成刻蚀（）以形成一个凹槽，然后淀

随着铜布线中大马士革工艺的引入，金属化工艺变成刻蚀（）以形成一个凹槽，然后淀积（）来覆盖其上的图形，再利用（）把铜平坦化至ILD的高度。

2、例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

3、在孔金属化的主要流程中，微蚀的后一个步骤是（）。

在孔金属化的主要流程中，微蚀的后一个步骤是（）。AA、清洁调整BB、去毛刺CC、预浸DD、微蚀

4、例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

5、在孔金属化的主要流程中，去钻污的前一个步骤是（）。

在孔金属化的主要流程中，去钻污的前一个步骤是（）。AA、清洁调整BB、去毛刺CC、电镀铜DD、微蚀

6、例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。