在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

1、在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在950～1100℃的条件下，扩散时间大约（

在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在950～1100℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。A4～6hB50min～2hC10～40minD5～10min

2、CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积

CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？

3、假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-

假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。

4、稀释、扩散是水体自净的重要过程。扩散是物质在特定的空间中所进行的一种可逆的扩

稀释、扩散是水体自净的重要过程。扩散是物质在特定的空间中所进行的一种可逆的扩散现象。A正确B错误

5、预淀积

预淀积

6、在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（

在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。A4～6hB50min～2hC10～40minD5～10min