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离子注入的沟道效应
1、短沟道效应
短沟道效应
2、沟道长度调制效应
沟道长度调制效应
3、什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
4、沟道效应
沟道效应
5、什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟
什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
6、什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
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