什么是外延层？为什么硅片上要使用外延层？

1、外延层的迁移率低的因素有原材料纯度（）；反应室漏气；外延层的晶体（）；系统沾

外延层的迁移率低的因素有原材料纯度（）；反应室漏气；外延层的晶体（）；系统沾污等；载气纯度不够；外延层晶体缺陷多；生长工艺条件不适宜。

2、台阶面层包括踏步及最上一层踏步外延（）mm。

台阶面层包括踏步及最上一层踏步外延（）mm。A100B200C300D400

3、什么是硅片的自然氧化层？由自然氧化层引起的三种问题是什么？

什么是硅片的自然氧化层？由自然氧化层引起的三种问题是什么？

4、卫生问防水找平层应向卫生间门口外延伸()mm。

卫生问防水找平层应向卫生间门口外延伸()mm。AA、100～150BB、150～250CC、200～300DD、250～300

5、简述四个生产层理论的基本内涵与外延。

简述四个生产层理论的基本内涵与外延。

6、高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。

高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A正确B错误