若单极式变极距型电容传感器采用差动式结构可以使非线性误差减小()级。
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3、变极距型电容传感器做成差动结构后,灵敏度提高原来的()倍。
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6、变极距型电容式传感器单位输入位移所引起的灵敏度与两极板初始间距成()关系。
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