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什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
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1、什么是离子注入损伤？
什么是离子注入损伤？
2、离子注入的沟道效应
离子注入的沟道效应
3、MOS晶体管的短沟道效应是指什么，其对晶体管有什么影响？
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4、什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？
5、什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
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6、什么是沟道效应？
什么是沟道效应？
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