件述非接触式激光干涉测量表面形貌和表面粗糙度的原理。

1、激光干涉仪，不适合对（）误差进行测量。

激光干涉仪，不适合对（）误差进行测量。A直线度B圆度C平面度D垂直度

2、激光干涉仪的最大测量长度为（）。

激光干涉仪的最大测量长度为（）。A40mB60mC100㎜D很长，几乎不受限制

3、双频激光干涉仪的测量长度为80米。（）

双频激光干涉仪的测量长度为80米。（）A正确B错误

4、在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。

在进行纳米级测量非导体的零件表面形貌时，常采用的测量仪器为（）。A光学显微镜B扫描隧道显微镜C原子力显微镜

5、激光干涉仪的最大测量长度为（）。

激光干涉仪的最大测量长度为（）。A40mB60mC100mD很长、几乎不受限制

6、激光干涉仪的测量基准点为数控机床的（）。

激光干涉仪的测量基准点为数控机床的（）。A任意点B中间点C零点D基准点