属于酸性蚀刻液再生的方法有（）。

1、一般在蚀刻操作中蚀刻和再生是同时进行的。

一般在蚀刻操作中蚀刻和再生是同时进行的。A正确B错误

2、酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。

酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。A正确B错误

3、酸性氯化铜蚀刻液的再生的最好的方法是双氧水再生法。

酸性氯化铜蚀刻液的再生的最好的方法是双氧水再生法。A正确B错误

4、在酸性氯化铜蚀刻液体系的再生方法中，由于氯气是强氧化剂，直接通氯气是再生的最

在酸性氯化铜蚀刻液体系的再生方法中，由于氯气是强氧化剂，直接通氯气是再生的最好方法。是因为（）。A成本低B再生速率快C无污染D设备简单

5、酸性氯化铜蚀刻液用于蚀刻单面板和多层板的内层。

酸性氯化铜蚀刻液用于蚀刻单面板和多层板的内层。A正确B错误

6、晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和

晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和硝酸的混合溶液，醋酸和磷酸当缓冲剂，一般去除约10-20µm厚的表面层。