什么是薄膜？例举并描述可接受的薄膜的8个特性。

1、气动薄膜执行机构的输出特性是什么？

气动薄膜执行机构的输出特性是什么？

2、气动薄膜调节阀执行机构，接受的气压信号是（）kgf/cm2。

气动薄膜调节阀执行机构，接受的气压信号是（）kgf/cm2。A0.1～0.2B0.2～1.0C1.0～1.5D1.5～2.0

3、例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

4、例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）

例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）

5、气动薄膜执行机构是一种应用最广泛的执行机构，它通常接受（）的气动信号。

气动薄膜执行机构是一种应用最广泛的执行机构，它通常接受（）的气动信号。AA、20~100kpaBB、0.1~0.2MpaCC、0.2~0.5kpaDD、0.2~0.5Mpa

6、例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。