离子注入表面改性

1、离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。

离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A能量B剂量

2、（）就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面，使其中离子注入层在极短的时间内

（）就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面，使其中离子注入层在极短的时间内达到高温，消除损伤。A热退火B激光退火C连续激光退火D脉冲激光退火

3、表面改性

表面改性

4、表面改性的基本方法主要有哪些？

表面改性的基本方法主要有哪些？

5、表面改性化工艺技术分为（），（），（）三类。

表面改性化工艺技术分为（），（），（）三类。

6、表面改性剂特点：无机改性，（），复合改性。

表面改性剂特点：无机改性，（），复合改性。