例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。

1、在半导体制造业中，最早的互连金属是（），在硅片制造业中最普通的互连金属是（）

在半导体制造业中，最早的互连金属是（），在硅片制造业中最普通的互连金属是（），即将取代它的金属材料是（）。

2、例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

3、例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）

例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试（第十九章）

4、例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

5、例举并描述热生长SiO2–Si系统中的电荷有哪些？

例举并描述热生长SiO2–Si系统中的电荷有哪些？

6、什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？

什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？