什么是离子注入损伤？

1、离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格，高温退火过程能使硅片中的损伤部

离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格，高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除，掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。A正确B错误

2、在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。

在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。A长度B深度C宽度D表面平整度

3、离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。

离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。A正确B错误

4、什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？

5、油田注入水主要水质标准是铁离子

油田注入水主要水质标准是铁离子AA、0.1BB、0.5CC、1.0DD、1.5

6、什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟

什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？