下图是硅烷反应淀积多晶硅的过程，写出发生反应的方程式，并简述其中1～5各步的含义。
相关推荐
-
1、反应器硅烷进料的减少将导致（）增加，反应器内粉末流循环速率（），反应器搅拌器
反应器硅烷进料的减少将导致（）增加，反应器内粉末流循环速率（），反应器搅拌器功率（）。
-
2、CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积
CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？
-
3、多晶硅的生产方法主要包含：（）1、SiCl4法2、硅烷法3、流化床法4、西门
多晶硅的生产方法主要包含：（）1、SiCl4法2、硅烷法3、流化床法4、西门子改良法5、冶金法6、气液沉淀法7、重掺硅废料提纯法AA.1234BB.123CC.1456DD.4567
-
请简述硅烷储罐的填充过程。
-
根据下图写出传递函数式，正确的表达式是（）。AA、ABB、BCC、CDD、D
-
6、反应器开车时，硅烷从反应器（）加入，其进料与（）成比例控制，反应器运行稳定后
反应器开车时，硅烷从反应器（）加入，其进料与（）成比例控制，反应器运行稳定后，硅烷从反应器（）加入，其进料的与（）成比例控制。