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片状源扩散具有设备简单，操作方便，晶片缺陷少，均匀性、重复性和表面质量都较好

片状源扩散具有设备简单，操作方便，晶片缺陷少，均匀性、重复性和表面质量都较好，适于批量生产，应用越来越普遍。（）

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