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问题

()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内


()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。

  • A热退火
  • B激光退火
  • C连续激光退火
  • D脉冲激光退火
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分类:集成电路制造工艺员(三级)题库,集成电路制造工艺员题库
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