微细加工工艺方法

1、微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A离子束刻蚀、激光刻蚀B干法刻蚀、湿法刻蚀C溅射加工、直写加工

2、下列那种激光器能量转换效率最高可用于精密微细加工（）。

下列那种激光器能量转换效率最高可用于精密微细加工（）。AA、二氧化碳激光器BB、氩离子激光器CC、钕离子激光器DD、掺钕钇铝石榴石激光器

3、微细加工机床必须具备（）

微细加工机床必须具备（）A高精度B高刚度C高灵敏度D高稳定性

4、磨削是用砂轮以较高的磨削速度，对工件表面进行微细加工的一种方法。磨削过程是（

磨削是用砂轮以较高的磨削速度，对工件表面进行微细加工的一种方法。磨削过程是（）过程。磨削运动由主运动和进给运动组成，主运动是砂轮的旋转运动。A切削B刻划和抛光作用的复...

5、微细加工与一般尺度加工的主要不同体现在

微细加工与一般尺度加工的主要不同体现在

6、（）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工

（）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。