STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？

1、微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。A离子束刻蚀、激光刻蚀B干法刻蚀、湿法刻蚀C溅射加工、直写加工

2、电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应

电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。A撞击B溅射C注入D撞击、溅射

3、高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。

高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。A正确B错误

4、在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

5、根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

6、不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。

不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。AA.CHF3BB.C2F6CC.C3F8DD.HF