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什么是正光刻胶,负光刻胶?


什么是正光刻胶,负光刻胶?

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分类:集成电路技术综合练习题库
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1、对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。

对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。A正确B错误

2、在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。

在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。ADQNBCACARCDPMMA

3、最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。

最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A正确B错误

4、有关光刻胶的显影下列说法错误的是()。

有关光刻胶的显影下列说法错误的是()。A负胶受显影液的影响比较小B正胶受显影液的影响比较小C正胶的曝光区将会膨胀变形D使用负胶可以得到更高的分辨率E负胶的曝光区将会膨胀变形

5、光刻胶的光学稳定通过()来完成的。

光刻胶的光学稳定通过()来完成的。A红外线辐射BX射线照射C加热D紫外光辐射E电子束扫描

6、光刻胶主要由()等不同材料混合而成的。

光刻胶主要由()等不同材料混合而成的。A树脂B感光剂CHMDSD溶剂EPMMA