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下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制


下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段?试解释其工作原理。

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