试述光刻加工的主要阶段？

1、光刻加工的工艺过程为：（）

光刻加工的工艺过程为：（）A①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗B①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散C①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

2、备料加工阶段的加工质量标准主要包括（）。

备料加工阶段的加工质量标准主要包括（）。A解冻质量标准B加工数量标准C加工卫生指标D配份数量标准

3、试述爆炸加工的基本原理及其主要用途。

试述爆炸加工的基本原理及其主要用途。

4、光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率

光刻工艺的主要流程有哪几步？什么是光刻工艺的分辨率？从物理角度看，限制分辨率的因素是什么？最常用的曝光光源是什么？

5、光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A电子束曝光技术B离子束曝光技术CX射线曝光技术

6、什么是光刻？光刻的主要流程有哪些？

什么是光刻？光刻的主要流程有哪些？