根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

1、车用柴油机喷油器根据作用原理，可分成下列哪几种形式？（）。

车用柴油机喷油器根据作用原理，可分成下列哪几种形式？（）。A柱塞式B喷油泵-喷油器C转子分配式D齿轮式E齿条式

2、按传热方式或热传递原理进行分类，换热设备有哪几种主要形式，各有什么特点？

按传热方式或热传递原理进行分类，换热设备有哪几种主要形式，各有什么特点？

3、高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。

高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。A正确B错误

4、在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

5、不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。

不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。AA.CHF3BB.C2F6CC.C3F8DD.HF

6、湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？

湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？