离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。

1、离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效

离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。A正确B错误

2、例举离子注入设备的5个主要子系统。

例举离子注入设备的5个主要子系统。

3、离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。

离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A能量B剂量

4、什么是离子注入损伤？

什么是离子注入损伤？

5、离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？

离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些？

6、为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。A液氮冷阱B净化阱C抽气阱D无气泵