曝光后烘焙，简称后烘，其对传统I线光刻胶是必需的。

1、用g线和i线进行曝光时通常使用哪种光刻胶（）。

用g线和i线进行曝光时通常使用哪种光刻胶（）。AARCBHMDSC正胶D负胶

2、在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。

在深紫外曝光中，需要使用（）光刻胶。ADQNBCACARCDPMMA

3、步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。

步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。A正确B错误

4、在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。ACA光刻胶对深紫外光吸收小BCA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化CCA光刻胶在显影液中的可溶性强D有较高的光敏度E有较高的对比度

5、例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

6、光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A电子束曝光技术B离子束曝光技术CX射线曝光技术