冰冻蚀刻

1、简述冰冻蚀刻技术。

简述冰冻蚀刻技术。

2、一般在蚀刻操作中蚀刻和再生是同时进行的。

一般在蚀刻操作中蚀刻和再生是同时进行的。A正确B错误

3、蚀刻过程中为使加速蚀刻反应正向进行的措施有（）。

蚀刻过程中为使加速蚀刻反应正向进行的措施有（）。A增加二价铜离子的浓度B使一价铜生成配合物C使一价铜生成沉淀D减少二价铜离子的浓度

4、板子在蚀刻机内部进行蚀刻时，其位置放置形式有（）。

板子在蚀刻机内部进行蚀刻时，其位置放置形式有（）。A水平放置B垂直放置C45度角放置D任意方式放置

5、晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和

晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和硝酸的混合溶液，醋酸和磷酸当缓冲剂，一般去除约10-20µm厚的表面层。

6、蚀刻温度对蚀刻速率的影响是随着温度的升高，蚀刻速率加快。

蚀刻温度对蚀刻速率的影响是随着温度的升高，蚀刻速率加快。A正确B错误