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问题

影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。


影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。

  • A等离子体蚀刻系统的形态
  • B等离子体蚀刻的参数
  • C光刻胶
  • D待蚀刻薄膜的淀积参数条件
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分类:电化学工程题库,化学工程题库
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