浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。

1、解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？

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2、简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。

简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。

3、步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。

步进光刻机的三个基本目标是对准聚焦、曝光和合格产量。A正确B错误

4、最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。

最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A正确B错误

5、循环珠式转向机相对于齿轮齿条式转向机有哪些优点（）

循环珠式转向机相对于齿轮齿条式转向机有哪些优点（）A质量轻、占用空间小B转向精确C路感明显D转向轻便

6、采用永磁式副励磁机有何优点？

采用永磁式副励磁机有何优点？