离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？

1、例举离子注入设备的5个主要子系统。

例举离子注入设备的5个主要子系统。

2、离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。

离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。A能量B剂量

3、机的外部部件连接的方式主要以（）为主。

机的外部部件连接的方式主要以（）为主。A拼接B胶水C焊接D铆接

4、离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A砷化氢B二硼化氢C三氟化硼D硅烷E氧气

5、活塞机的主要运动部件是曲轴、连杆和（）。

活塞机的主要运动部件是曲轴、连杆和（）。

6、油田注入水主要水质标准是铁离子

油田注入水主要水质标准是铁离子AA、0.1BB、0.5CC、1.0DD、1.5