组成MEMS的部件有（）

1、叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

2、液力偶合器的组成部件有（）。

液力偶合器的组成部件有（）。A泵轮B涡轮C导轮D输入轴E输出轴

3、MEMS工艺与微电子工艺技术有哪些区别。

MEMS工艺与微电子工艺技术有哪些区别。

4、组成转向系的部件有（）、（）、（）。

组成转向系的部件有（）、（）、（）。

5、电梯的终端保护装置有部件组成（）。

电梯的终端保护装置有部件组成（）。A强迫减速开关B终端限位开关C基站开门限位D终端极限开关

6、油动机的主要组成部件有哪些？

油动机的主要组成部件有哪些？