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问题

在刻蚀二氧化硅过程中假如我们在CF4的()内加入适量的氢气,能够降低刻蚀的速


在刻蚀二氧化硅过程中假如我们在CF4的()内加入适量的氢气,能够降低刻蚀的速率。

  • A气体
  • B等离子体
  • C固体
  • D液体
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分类:集成电路制造工艺员(三级)题库,集成电路制造工艺员题库
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