刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。

1、（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。A刻蚀速率B刻蚀深度C移除速率D刻蚀时间

2、在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

3、湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？

湿法刻蚀和干法刻蚀的区别？

4、在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。

在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。A正确B错误

5、刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。

刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。

6、从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类？

从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类？