集成电路制造中掺杂类工艺有（）和（）两种。

1、按照制造工艺可分为半导体集成电路、薄膜集成电路和（）集成电路。

按照制造工艺可分为半导体集成电路、薄膜集成电路和（）集成电路。A数字B厚膜C小规模D专用

2、半导体工艺中，掺杂有哪几种方式？

半导体工艺中，掺杂有哪几种方式？

3、集成电路按照制造工艺可分为（）。

集成电路按照制造工艺可分为（）。A半导体集成电路B薄膜集成电路C数字集成电路D厚膜集成电路

4、光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。

光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。A正确B错误

5、机械制造装备包括（）、工艺装备、仓储输送装备和辅助装备四大类。

机械制造装备包括（）、工艺装备、仓储输送装备和辅助装备四大类。A加工装备B夹具C机床

6、集成电路制造工艺中，主要有哪两种隔离工艺？目前的主流深亚微米隔离工艺是哪种器

集成电路制造工艺中，主要有哪两种隔离工艺？目前的主流深亚微米隔离工艺是哪种器件隔离工艺，为什么？