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LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃,采用增强的等离


LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃,采用增强的等离子体,增加淀积能量,即低压和低温。

  • A正确
  • B错误
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