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简述BOE（或BHF）刻蚀SiO2的原理。
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1、简述杂质在SiO2的存在形式及如何调节SiO2的物理性质。
简述杂质在SiO2的存在形式及如何调节SiO2的物理性质。
2、说明SiO2的结构和性质，并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。
说明SiO2的结构和性质，并简述结晶型SiO2和无定形SiO2的区别。
3、根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
4、不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。
不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。AA.CHF3BB.C2F6CC.C3F8DD.HF
5、边缘刻蚀冷热探针的工作原理？
边缘刻蚀冷热探针的工作原理？
6、碱煮能除去部分SiO2，其原理是什么？
碱煮能除去部分SiO2，其原理是什么？
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