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下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。

下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。

AA.4HF+Si=SiF4+2H2↑
BB.CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑
CC.CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑
DD.SiO2+4HF——→SiF4+2H2O

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分类：太阳能光伏发电技术题库,能源科学技术题库

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