LPCVD（低压CVD）

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PVD与CVD相比，工件变形（）A大B小C一样D几乎没有

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缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。

3、解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别，哪种工艺依赖于温度

解释质量输运限制CVD工艺和反应速度限制CVD工艺的区别，哪种工艺依赖于温度，LPCVD和APCVD各属于哪种类型？

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LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。A正确B错误

5、化学气相沉积（CVD）

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6、简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。

简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。